Диффузионные термические установки.

Введение

Цели и задачки дисциплины. Роль оборудования в технологии производства микроэлектронных устройств.

Элементы кинетической теории газов.

Понятие об безупречном газе. Термическое движение молекул и атомов.

Давление и плотность газа. Парциальное давление газа.

Давление и плотность газа. Парциальное давление газа.

Взаимодействие газов с жесткими телами.

Поглощение и выделение газов жесткими телами. Сорбция и Диффузионные термические установки. десорбция. Необходимость обезгаживания жестких тел в вакуумной технике.

Сорбция и десорбция газов.

Виды сорбции – адсорбция, абсорбция, хемосорбция. Десорбция. Применение этих явлений в технологии производства МЭУ.

Сорбция и десорбция газов.

Причины зависимости сорбционных и десорбционных явлений, физическая сущность этих явлений.

Общие сведения о вакуумных насосах.

Систематизация вакуумных насосов. Главные характеристики Диффузионные термические установки. и свойства насосов.

Пластинчатые вакуумные насосы с масляным уплотнением.

Конструкция и принцип деяния пластинчато-роторного насоса. Конструкция и принцип деяния пластинчато-статорного насоса.

Плунжерный и двухроторный вакуумные насосы.

Конструкция и принцип деяния плунжерного насоса. Конструкция и принцип деяния двухроторного насоса.

Турбомолекулярный насос.

Предназначение и главные характеристики турбомолекулярного насоса. Конструкция Диффузионные термические установки. и принцип деяния насоса.

Струйные насосы.

Предназначение, конструкции и особенности работы струйных насосов. Условия пуска насосов. Эжекторные насосы. Сущность эффекта всасывания газа струей.

Диффузионные насосы.

Конструкция, материалы и принцип деяния.

Магнитный электроразрядный насос.

Предназначение, конструкция, применение и особенности работы магнитного электроразрядного насоса. Отличие от ранее изученных конструкций Диффузионные термические установки..

Криосорбционные насосы.

Криосорбционные насосы. Предназначение, конструкции, применение и особенности работы насосов.

Ловушки механические.

Предназначение и главные требования. Конструкции ловушек, принцип деяния.

Низкотемпературные охлаждаемые ловушки.

Ловушки с хладогентом. Адсорбционные ловушки. Конструкции, материалы и принцип деяния.

Деформационные вакуумметры.

Трубчатые вакуумметры. Конструкции, характеристики, механизм работы.

Деформационные вакуумметры.

Мембранные вакуумметры. Конструкции, характеристики, механизм работы.

Вакуумметры Диффузионные термические установки. косвенного деяния. Термические вакуумметры.

Термические вакуумметры. Устройство манометрических преобразователей, принцип их работы.

Вакуумметры косвенного деяния. Ионизационные вакуумметры.

Ионизационные вакуумметры. Конструкция и характеристики устройств. Механизм работы ионизационного вакуумметра.

Приборы для измерения парциальных давлений газов.

Систематизация газоанализаторов. Диапазон масс и его расшифровка.

Статические масс-спектрометры с разделением ионов в магнитном Диффузионные термические установки. поле.

Конструкция, принцип деяния.

Течеискатели.

Плотность вакуумных систем. Понятие о скорости натекания. Способы течеискания: способ опрессовки, манометрический, галоидный, либо частотного разряда.

Установка и устройства для нанесения тонких пленок в вакууме.

Способы нанесения тонких пленок в вакууме и устройства испарения материала. Конструкция установки для нанесения тонких пленок в вакууме Диффузионные термические установки..

Оборудование для чистки сред.

Конструкции “незапятнанных” комнат. Мероприятия, обеспечивающие главные характеристики воздушной среды для “незапятнанных” комнат.

Оборудование для чистки технологических газов.

Установка для чистки азота и аргона.

Абразивные материалы и инструменты.

Общие сведения об абразивных материалах и механической обработке полупроводников. Инструменты для обработки полупроводников.

Эволюционное развитие станков для резки слитков Диффузионные термические установки..

Устройство станков для резки слитков на пластинки. Кинематические схемы станков. Прогрессивные способы резки слитков на пластинки.

Конструкция станка для резки слитков на пластинки.

Конструкция и особенности станка для резки слитков на пластинки.

Конструкция и механизм работы станка для шлифовки пластинок “связанным” абразивом.

Кинематическая схема и механизм работы станка.

Оборудование для Диффузионные термические установки. полировки пластинок.

Конструкция, кинематическая схема и принцип деяния станка для полировки пластинок.

Базисная центрифуга.

. Конструкция и принцип деяния базисной центрифуги.

Устройство транспортной системы пластинок.

Транспортное устройства полосы “Лада-125”. Предназначение, конструкция и принцип деяния.

Диффузионные тепловые установки.

Конструкции и принцип построения установок диффузии. Конструкция муфеля.


dimkini-krilya-vizdoravlivayut-skazka-prodolzhaetsya-28.html
dimple-minds-doklad.html
dinamicheskaya-antropometriya.html